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噴霧熱分解法は,目的物質の前駆体を溶解した溶液を二流体ノズル等でガス中に噴霧し,高温熱源により気化・分解・焼成することでセラミックや金属粒子を生成するプロセスである。熱源には反応器の壁を電気加熱する手法が一般的であるが,スケールアップした際に,反応器中の温度勾配を均一に保ちづらい。一方で,噴霧した液滴を直接燃焼させる火炎噴霧熱分解法は,液滴自体が(燃焼により)発熱源となるため,スケールアップが容易であり注目されている。既に複数の実プロセスで利用されており1),また近年,スイスのavantama社が火炎噴霧熱分解を用いて,複数の金属種を任意の比率で含んだ粒子(主に酸化物)を調製するサービスを開始している。 噴霧熱分解における粒子生成過程2)は,熱源によらず,①気化した前駆体からの粒子生成(図1左)および,②液滴中での粒子生成(図1右)に大別され,プロセス温度と液滴の気化特性が重要なファクターとなる。温度が十分高ければ,液滴が完全に気化し,気化した金属種が反応し粒子が生成する。この粒子は,均一な金属種の蒸気より生成するため比較的均一なナノ粒子が生成する。一方で温度が低い場合,液滴の気化より,液滴中での前駆体分解...
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