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2022 Vol.86 No.8 特集

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巻頭言 化学工学における計測技術

特集 プラズモンセンサを用いた埋もれた界面計測

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特集

化学工学に貢献する先端計測
走査電子顕微鏡によるリアルタイムステレオ観察

 走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は,細く絞った電子線を用いることから,焦点深度の深い高分解能観察が可能である。また,SEMで得られる画像(SEM像)は,立体的なコントラストを有することが特徴である。しかし,一般的に観察されるSEM像は単眼視の情報であり,表面形状の情報を十分に生かしているとは言えない。そこで,SEM像のステレオ観察法が1960年代後半から試みられてきているが2),2枚の視差画像の取得が煩雑であったり,ステレオ観察に専用のメガネや表示装置が必要であったりするため,これまでそれほど普及してこなかった。ところが,最近のコンピュータ技術の進歩や表示技術の進歩により,新しい可能性が出てきている。 ...

小竹 航
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小竹 航

Real-Time Stereo Observation by Scanning Electron Microscope

Wataru KOTAKE

  • 2006年 茨城大学大学院応用粒子線科学専攻修了

  • (株)日立ハイテク コアテクノロジー&ソリューション事業統括本部 CTシステム製品本部 解析システム第一設計部 技師

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Online ISSN : 2435-2292

Print ISSN : 0375-9253

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