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2022 Vol.86 No.8 特集

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特集 走査電子顕微鏡によるリアルタイムステレオ観察

特集 クラスター二次イオン質量分析法(GCIB-SIMS)による大きな分子量の分析
市販装置のチャレンジ~Ionoptika J105 SIMS~

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特集

化学工学に貢献する先端計測
プラズモンセンサを用いた埋もれた界面計測

 半導体やフォトニクス,ストレージ,更にエネルギーや医療関連など様々な分野で用いられている各種デバイスでは,積層構造などのいわゆる「埋もれた界面」の特性を利用して機能発現や高性能化が図られている。まためっき,接着,複合材料,傾斜材料,研磨などの材料・製造プロセスにおいても種々の界面現象の理解と制御による材料設計が重要となっている。しかしながら,電子線をはじめとした様々なプローブを用いることができる表面分析に比べ,この「埋もれた界面」の分析手法は非常に限られている。化学構造を非破壊で測定する手法は特に限定的と言えるが,筆者らは表面増強ラマン分光法(SERS, Surface-Enhanced Raman Spectroscopy)に着目し,埋もれた界面の計測のための検討をおこなっている。本稿ではそのアプローチ及び応用例などについて紹介する。 ...

本間 敬之
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本間 敬之

SERS Analysis of Buried Interface Using Plasmon Sensor

Takayuki HOMMA

  • 1992年 早稲田大学大学院理工学研究科博士後期課程修了(博士(工学))

  • 早稲田大学先進理工学部応用化学科 教授

國本 雅宏
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國本 雅宏

Masahiro KUNIMOTO

  • 2012年 早稲田大学大学院先進理工学研究科博士後期課程修了(博士(工学))

  • 早稲田大学先進理工学部応用化学科 講師

ベルツ モルテン
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ベルツ モルテン

Morten BERTZ

  • 2010年 Technische Universität München, Department of Physics, Ph. D.

  • 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 研究院講師

柳沢 雅広
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柳沢 雅広

Masahiro YANAGISAWA

  • 1973年 慶應義塾大学理工学研究科応用化学専攻修士課程修了(工学博士)

  • 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 招聘研究員

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Online ISSN : 2435-2292

Print ISSN : 0375-9253

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